电子级水水质标准（GB/T 11446.1-2013）
文章出处：admin 人气：发表时间：2025-06-19
电子级水水质标准（GB/T 11446.1-2013）
GB/T 11446.1-2013《电子级水》规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则，适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。电子级水分为四个级别：Ⅰ 级、Ⅱ 级、Ⅲ 级、Ⅳ 级。以下是各级别的技术指标要求：
| 项目 | 技术指标 | ||||
| EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
| 电阻率（25℃）/MΩ·cm | ≥18 | ≥15 | ≥12 | ≥0.5 | |
| （5%时间不低于17） | （5%时间不低于13） | ||||
| 全硅/（μg/L） | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
| 微粒数/（个/L） | 0.05μm~0.1μm | 500 | - | - | - |
| 0.1μm~0.2μm | 300 | - | - | - | |
| 0.2μm~0.3μm | 50 | - | - | - | |
| 0.3μm~0.5μm | 20 | - | - | - | |
| ＞0.5μm | 4 | - | - | - | |
| 细菌个数/（个/mL） | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤10 | ≤100 | |
| 铜/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
| 锌/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 镍/（μg/L） | ≤0.1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
| 钠/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
| 钾/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
| 铁/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
| 铅/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
| 氟/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 氯/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
| 亚硝酸根/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 溴/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
| 硝酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 磷酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 硫酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
| 总有机碳/（μg/L） | ≤20 | ≤100 | ≤200 | ≤1000 | |
此文关键词：电子级水水质标准（GB/T 11446.1-2013）
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